기가레인, AI 기반 플라즈마 식각 공정 최적화 성공… 엔지니어링 효율 극대화

AI 요약

식각 장비 전문기업 기가레인은 인공지능 기술을 활용해 플라즈마 식각 공정의 최적 조건을 자동으로 도출하는 데 성공했다고 29일 밝혔습니다. 한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단이 개발한 AI 기반 공정 최적화 툴에 엔지니어가 수행한 51개 실험 중 변칙값을 제외한 34개의 정제 데이터를 학습시킨 결과 단 한 번의 학습으로 에칭량, 속도, 각도, 상·하부 선폭, 마스크 선택비 등 6개 공정 목표를 동시에 만족하는 최적 조건을 도출했고 목표 미달 시 재학습하는 반복 알고리즘도 구축했습니다. 기가레인은 이를 통해 웨이퍼와 엔지니어링 리소스를 절감하고 고객 요구 대응 속도를 단축했으며 다른 공정으로 AI 적용을 확대하고 실시간 센서 데이터 연동으로 자율 운영 장비 체계 구축을 추진할 계획입니다.