기가레인 "AI 활용 플라즈마 식각 공정 최적화 성공"

AI 요약

반도체 식각 장비 전문기업 기가레인은 인공지능(AI) 기술을 활용해 플라즈마 식각 공정의 최적 조건을 자동으로 도출하는 데 성공했다고 29일 밝혔습니다. 회사는 국가과학기술연구회의 융합연구단 지원을 받아 2020년 11월부터 한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단이 개발한 AI 기반 공정 최적화 툴을 활용해 엔지니어가 수행한 51개 실험 중 변칙값을 제외한 34개 데이터를 학습한 결과 단 1회 학습으로 에칭량·속도·각도·상·하부 선폭·마스크 선택비 등 6개 공정 목표를 동시에 만족하는 최적 조건을 도출했고, 목표 미달 시 새 공정 결과를 재학습하는 반복 알고리즘도 구축했다고 설명했습니다. 이를 통해 웨이퍼와 엔지니어링 리소스를 절감하고 고객사 요구 대응 속도를 단축했으며, 회사는 다른 공정에도 AI 적용을 확대해 개발 효율을 높여나갈 계획이라고 밝혔습니다.