도쿄일렉트론, 엔비디아 기술 협력…AI 로봇 솔루션 개발

AI 요약

도쿄일렉트론은 20일 엔비디아와의 협력을 확대해 에이전트형 인공지능(AI)과 로보틱스 솔루션을 개발한다고 밝혔습니다. 도쿄일렉트론은 자사 DX 솔루션 엡시라에 엔비디아 에이전트 툴킷(니모, 엔비디아 추론 마이크로서비스 NIM, 니모클로 청사진)과 개방형 로봇 플랫폼 이삭을 적용해 반도체 공정 장비와 생산 현장 데이터를 연결한다고 설명했습니다. 이를 통해 AI 기반 습식 세정 주기 연장(MTBWC:Mean Time Between Wet Cleaning) 분석, 로보틱스 유지보수, AI 문제 해결 분석 등으로 생산 효율과 수율을 높이고 계획·예기치 못한 다운타임을 줄여 장비 가동률을 극대화하겠다고 밝혔습니다.