램리서치·머크, AI 반도체 혁명 '몰리브덴' 주목

AI 요약

몰리브덴이 인공지능 시대 차세대 반도체 핵심 소재로 떠올랐으며 텅스텐 기반의 저항 증가 한계로 3D 적층 구조 대응을 위해 램리서치와 머크 등이 몰리브덴을 제시했습니다. 몰리브덴은 저항이 낮고 ALD 공정에서 초미세 구조 내부까지 균일하게 금속을 채울 수 있어 라이너 부담을 줄일 수 있으나 부식성이 강하고 상온에서 고체여서 가스 공급 장비·배관 교체와 공정 제어 난도가 높은 과제가 있습니다. 머크는 충북 음성 공장에서 몰리브덴 소재 생산을 준비하며 전구체와 공급 시스템을 결합한 통합 솔루션을 국내에 제공할 계획이고, 현재 적용은 삼성전자·SK하이닉스의 3D 낸드 중심으로 이뤄지며 업계는 향후 3D D램과 첨단 로직 적용 확장 가능성에 주목하고 있습니다.