전남대, 차세대 AI 반도체 핵심기술 확보

AI 요약

전남대학교 한승회 교수 연구팀과 KAIST 김영진 교수팀, 한국기계연구원, 한국생산기술연구원, 미국 텍사스 A&M 대학교 등이 참여한 글로벌 공동연구팀이 과학기술정보통신부와 한국연구재단의 지원으로 유리 기판의 전·후면에 회로를 마스크 없이 직접 그릴 수 있는 극초단펄스 레이저 유도 화학기상증착(ULCVD) 기술을 개발했습니다. 연구팀은 초고속 펨토초 레이저를 이용해 투명 유리의 앞뒤면에 전도성 탄소 회로를 선택적으로 패터닝해 학계 최고 수준의 레이저 유도 그래핀(LIG) 배선과 필적하는 전기 전도성을 확보했고, 정육면체 원자 증기 셀 표면에 탄소 히터를 패터닝한 비접촉식 무선 광열 가열 시연으로 CPO 기반 광-전 융합 반도체와 정밀 양자 센서 등 3차원 유리 구조 소자 응용 가능성을 입증했습니다.